Electrostatically Actuated Micromirror for Resonant Cavity Enhanced Detectors
2007
Résumé
Electrostatically Actuated Micromirror for Resonant Cavity Enhanced Detectors
Détails
Titre
Electrostatically Actuated Micromirror for Resonant Cavity Enhanced Detectors
Auteur(s)
Quack, Niels ; Blunier, Stefan ; Dual, Jurg ; Arnold, Martin ; Felder, Ferdinand ; Rahim, Mohamed ; Zogg, Hans
Présenté à
MicroNanoFabrication Annual Review Meeting, Lausanne, Switzerland, May 8, 2007
Date
2007
Laboratoires
Q-LAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IEM - Institute of Electrical and Micro Engineering > Q-LAB - Groupe Quack
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Date de création de la notice
2015-07-08