Functional and Responsive Nanoporous Silicon Nitride Membranes

• Lausanne: EPFL, 2014

Keywords: Nanoporous silicon nitride membrane ; block copolymer lithography ; poly(N-isopropylacrylamide) ; melt grafting ; thermo-responsive nano-valve

Thèse École polytechnique fédérale de Lausanne EPFL, n° 6203 (2014)
Programme doctoral Microsystèmes et Microélectronique
Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur
Institut de microtechnique
Laboratoire de microsystèmes 4
Jury: Prof. M. Gijs (président) ; Prof. Ph. Renaud, Dr R. Pugin (directeurs) ; Prof. F. Montagne, Dr L. Nicu, Prof. L. G. Villanueva Torrijo (rapporteurs)

Public defense: 2014-6-6

Reference

• doi:10.5075/epfl-thesis-6203
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Record created on 2014-05-27, modified on 2017-05-10