E-beam defined polysilicon piezoresistive cantilevers for intermolecular force detection
2003
Détails
Titre
E-beam defined polysilicon piezoresistive cantilevers for intermolecular force detection
Auteur(s)
Villanueva, G. ; Rius, G. ; Bausells, J. ; Montserrat, J. ; Perez-Murano, F.
Publié dans
4th Spanish Conference on Electron Devices (CDE)
Pages
495-498
Présenté à
4th Spanish Conference on Electron Devices (CDE), Calella, 2003
Date
2003
Laboratoires
NEMS
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IGM - Institut de génie mécanique > NEMS - Laboratoire de systèmes nano-électromécaniques
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Date de création de la notice
2013-08-06