Silicon microcantilevers with piezoresistive and MOSFET detection
2009
Détails
Titre
Silicon microcantilevers with piezoresistive and MOSFET detection
Auteur(s)
Tosolini, G. ; Villanueva, G. ; Bausells, J. ; García Loureiro, A. ; Iglesias, N. S. ; Aldegunde Rodríguez, M. A. ; Comesana Figueroa, E.
Publié dans
7th Spanish Conference on Electron Devices (CDE)
Volume
Poster
Pages
428-31
Présenté à
7th Spanish Conference on Electron Devices (CDE), Santiago de Compostela, Spain, 2009
Date
2009
Laboratoires
NEMS
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IGM - Institut de génie mécanique > NEMS - Laboratoire de systèmes nano-électromécaniques
Publications validées par des pairs
Travail hors EPFL
Papiers de conférence
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Date de création de la notice
2013-08-06