Polymer microoptoelectromechanical systems: Variable optical attenuators and accelerometers
2007
Détails
Titre
Polymer microoptoelectromechanical systems: Variable optical attenuators and accelerometers
Auteur(s)
Llobera, A. ; Villanueva, G. ; Cadarso, V. J. ; Seidemann, V. ; Buttgenbach, S. ; Plaza, J. A.
Publié dans
14th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers)
Volume
Poster
Pages
U544-U545
Présenté à
14th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers), Lyon, France, 2007
Date
2007
ISBN
978-1-4244-0841-2
Note
Llobera, A. Villanueva, G. Cadarso, V. J. Seidemann, V. Buettgenbach, S. Plaza, J. A., 14th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, JUN 10-14, 2007, Lyon, FRANCE
Laboratoires
NEMS
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IGM - Institut de génie mécanique > NEMS - Laboratoire de systèmes nano-électromécaniques
Publications validées par des pairs
Travail hors EPFL
Papiers de conférence
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Date de création de la notice
2013-08-06