Microlens array imaging system for photolithography
1996
Fichiers
Détails
Titre
Microlens array imaging system for photolithography
Auteur(s)
Herzig, H. P. ; Nussbaum, P. ; Dandliker, R. ; Hugle, W. B. ; Volkel, R.
Publié dans
Optical Engineering
Volume
35
Numéro
11
Pages
3323-30
Date
1996
ISSN
0091-3286
Mots-clés (libres)
Laboratoires
OPT
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > OPT - Laboratoire d'optique appliquée
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Date de création de la notice
2013-01-17