Mechanical and adhesion characterization of dry photoresist and porous films used for foil-level encapsulation of chemical sensors
2012
Détails
Titre
Mechanical and adhesion characterization of dry photoresist and porous films used for foil-level encapsulation of chemical sensors
Auteur(s)
Vasquez Quintero, Andres ; Briand, Danick ; de Rooij, Nico F.
Présenté à
MRS 2012 Spring Meeting, San Francisco, USA, April 9-12, 2012
Date
2012
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
Présentations & Talks
Travail produit à l'EPFL
Publié
Présentations & Talks
Travail produit à l'EPFL
Publié
Date de création de la notice
2012-08-30