3D sequential integration: a key enabling technology for heterogeneous co-integration of new function with CMOS
2012
Détails
Titre
3D sequential integration: a key enabling technology for heterogeneous co-integration of new function with CMOS
Auteur(s)
Batude, P. ; Ernst, T. ; Arcamone, J. ; Coudrain, P. ; Gaillardon, Pierre-Emmanuel Julien Marc
Publié dans
Proceedings of the IEEE Circuits and Systems Society Forum on Emerging and Selected Topics (CAS-FEST)
Présenté à
IEEE Circuits and Systems Society Forum on Emerging and Selected Topics (CAS-FEST), Seoul, South Korea, May 20, 2012
Date
2012
Laboratoires
LSI1
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > I&C - Faculté Informatique & Communications > IINFCOM > LSI1 - Laboratoire des systèmes intégrés 1 (STI/IC)
Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Accepté
Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Accepté
Date de création de la notice
2012-05-07