Vertical Flaps of Arbitrary Shape For Reflective MEMS Displays and Optical Modulators
2011
Résumé
A novel technological platform is presented for the fabrication of vertical flaps and gratings of arbitrary shape. The flaps are suspended by torsion beams and actuated electrostatically at voltages as low as 10V. The main application is a high contrast reflective display.
Détails
Titre
Vertical Flaps of Arbitrary Shape For Reflective MEMS Displays and Optical Modulators
Auteur(s)
Jutzi, Fabio ; Noell, Wilfried ; de Rooij, Nico
Publié dans
Proceedings of Optical MEMS & Nanophotonics
Pages
155-156
Présenté à
Optical MEMS & Nanophotonics, Istanbul, Turkey, August 8-11, 2011
Date
2011
Editeur
Ieee Service Center, 445 Hoes Lane, Po Box 1331, Piscataway, Nj 08855-1331 Usa
Mots-clés (libres)
Langue
Anglais
Autres identifiant(s)
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Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Publié
Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Publié
Date de création de la notice
2011-11-11