30nm Metallic Slot Array for Sensing: Theoretical and Experimental Study
2011
Résumé
The simulation, fabrication and characterization of a metallic slot grating on a silicon waveguide (30 nm slot width for a period of 500 nm) are presented [1]. This device is attempting to be a sensor for refractive index variation measurements with theoretically expected sensitivity of 750 nm/RIU (Refractive Index Unit).
Détails
Titre
30nm Metallic Slot Array for Sensing: Theoretical and Experimental Study
Auteur(s)
Tan, Qing ; Cosentino, Armando ; Roussey, Matthieu ; Herzig, Hans Peter
Publié dans
Omn2011: 16Th International Conference On Optical Mems And Nanophotonics
Pages
27-28
Présenté à
16th International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, Istanbul, Turkey, August 8-11, 2011
Date
2011
Editeur
Ieee Service Center, 445 Hoes Lane, Po Box 1331, Piscataway, Nj 08855-1331 Usa
ISBN
978-1-4577-0336-2
Mots-clés (libres)
Langue
Anglais
Autres identifiant(s)
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Laboratoires
OPT
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > OPT - Laboratoire d'optique appliquée
Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Publié
Papiers de conférence
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Publié
Date de création de la notice
2011-09-27