MEMS Based Piezoelectric Harvesters: From Thick Sheet to Thin Film Epitaxial Piezoelectric Materials
2011
Détails
Titre
MEMS Based Piezoelectric Harvesters: From Thick Sheet to Thin Film Epitaxial Piezoelectric Materials
Auteur(s)
Janphuang, P. ; Isarakorn, D. ; Briand, D. ; Gariglio, S. ; Ambri, A. ; Triscone, J.-M. ; Guy, F. ; Reiner, J. W. ; Ahn, C. H. ; de Rooij, N.
Présenté à
2nd International Workshop on Piezoelectric MEMS, Lausanne, Switzerland, September 6-7,2011
Date
2011
Mots-clés (libres)
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
Présentations & Talks
Travail produit à l'EPFL
Publié
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Date de création de la notice
2011-09-16