Focused Ion Beam: A Versatile Technique for the Fabrication of Nano-Devices
2009
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Détails
Titre
Focused Ion Beam: A Versatile Technique for the Fabrication of Nano-Devices
Auteur(s)
Santschi, Christian ; Przybylska, Joanna ; Guillaumee, Mickael ; Vazquez-Mena, Oscar ; Brugger, Juergen ; Martin, Olivier J. F.
Publié dans
Praktische Metallographie-Practical Metallography
Volume
46
Numéro
3
Pages
154-156
Date
2009
Mots-clés (libres)
Autres identifiant(s)
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Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IEM - Institute of Electrical and Micro Engineering > NAM - Laboratoire de nanophotonique et métrologie
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IEM - Institute of Electrical and Micro Engineering > LMIS1 - Laboratoire de microsystèmes 1
Publications validées par des pairs
Travail produit à l'EPFL
Articles de journaux
Publié
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Date de création de la notice
2011-04-11