Fast in situ metallization: a comparison of several methods with possible applications in high-density multichip interconnects
1992
Résumé
A review with 74 refs. is given on fabrication of metalizations and interconnects in microelectronics. An application of metal complexes for laser-assisted CVD is described. Different methods for pre-nucleation and developing of films and lines are discussed.
Détails
Titre
Fast in situ metallization: a comparison of several methods with possible applications in high-density multichip interconnects
Auteur(s)
Widmer, Marcel ; Hoffmann, Patrik ; Lecohier, Baudouin ; Solka, Herbert ; Philippoz, Jean Michel ; Van den Bergh, Hubert
Publié dans
Photochemical processing of electronic materials
Editeur(s)
Pages
433-463
Présenté à
5th UK Photochemical Processing Workshop, University College, London, UK
Date
1992
Editeur
London, Academic Press
ISBN
0-12-121740-X
Mots-clés (libres)
Note
Copyright 2003 ACS
CAPLUS
AN 1993:70917
CAN 118:70917
76-0
Electric Phenomena
Lab. Chim. Techn.,Ec. Polytech. Fed.,Lausanne,Switz. FIELD URL:
Conference; General Review
58NQAU
written in English.
Laser radiation (in fabrication of multitip interconnects); Electric circuits (integrated, metalization for, laser in fast in situ); Electric conductors (interconnections, fast in situ metalization technol. of); Vapor deposition processes (photochem., for metalization deposition)
CAPLUS
AN 1993:70917
CAN 118:70917
76-0
Electric Phenomena
Lab. Chim. Techn.,Ec. Polytech. Fed.,Lausanne,Switz. FIELD URL:
Conference; General Review
58NQAU
written in English.
Laser radiation (in fabrication of multitip interconnects); Electric circuits (integrated, metalization for, laser in fast in situ); Electric conductors (interconnections, fast in situ metalization technol. of); Vapor deposition processes (photochem., for metalization deposition)
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Production scientifique et compétences > ENAC - Faculté de l'environnement naturel, architectural et construit > ENAC Archives > LPAS - Laboratoire de pollution atmosphérique et du sol
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > LOA - Laboratoire d'optique appliquée Prof. Salathé
Publications validées par des pairs
Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Publié
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > LOA - Laboratoire d'optique appliquée Prof. Salathé
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Date de création de la notice
2011-02-01