Microelectromechanical Metal-Air-Insulator-Semiconductor (MEM-MAIS) Diode: A Novel Hybrid Device for ESD Protection
2009
Détails
Titre
Microelectromechanical Metal-Air-Insulator-Semiconductor (MEM-MAIS) Diode: A Novel Hybrid Device for ESD Protection
Auteur(s)
Acquaviva, D. ; Tsamados, D. ; Coronel, Ph. ; Skotnicki, T. ; Ionescu, A. M.
Publié dans
2009 IEEE 22nd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems
Pages
132-135
Présenté à
2009 IEEE 22nd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), Sorrento, Italy, 25-29 01 2009
Date
2009
Editeur
IEEE
Laboratoires
NANOLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IEM - Institute of Electrical and Micro Engineering > NANOLAB - Laboratoire des dispositifs nanoélectroniques
Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Publié
Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Publié
Date de création de la notice
2010-11-08