High-density, high-aspect ratio epoxy microstructures by Direct Write Laser Patterning
2010
Détails
Titre
High-density, high-aspect ratio epoxy microstructures by Direct Write Laser Patterning
Auteur(s)
Cadarso, Victor Javier ; Pfeiffer, Karl ; Ostrzinski, Ute ; Bureau, Jean-Baptiste ; Racine, Georges-André ; Voigt, Ana ; Auzelyte, Vaida ; Gruetzner, Gabi ; Brugger, Jürgen
Publié dans
36th International Conference on Micro & Nano Engineering (MNE)
Présenté à
36th International Conference on Micro & Nano Engineering (MNE), Genoa, Italy, September 19-22, 2010
Date
2010
Mots-clés (libres)
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URL
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IEM - Institute of Electrical and Micro Engineering > LMIS1 - Laboratoire de microsystèmes 1
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > CMI - Centre de MicroNanoTechnologie
Publications validées par des pairs
Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Publié
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > CMI - Centre de MicroNanoTechnologie
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Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Publié
Date de création de la notice
2010-08-12