Conditions of Micromirror Lifted by Buckled Bridges Using Film Stress
2008
Détails
Titre
Conditions of Micromirror Lifted by Buckled Bridges Using Film Stress
Auteur(s)
Sasaki, M. ; Hane, K. ; Briand, D. ; Noell, W. ; de Rooij, N.
Présenté à
International Display Workshop IWD'08 , Niigata, Japan, December 3-5, 2008
Date
2008
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
Présentations & Talks
Travail produit à l'EPFL
Publié
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Date de création de la notice
2010-06-18