Hydrogen-dominated plasma, due to silane depletion, for microcrystalline silicon deposition (Invited paper)
2009
Détails
Titre
Hydrogen-dominated plasma, due to silane depletion, for microcrystalline silicon deposition (Invited paper)
Auteur(s)
Howling, Alan
Présenté à
American Vacuum Society AVS 56th International Symposium and Exhibition, San Jose, California, USA, November 8-13, 2009
Date
2009
Laboratoires
CRPP
SPC
SPC
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > SB - Faculté des sciences de base > SPC - Swiss Plasma Center > SPC - Swiss Plasma Center
Présentations & Talks
Travail hors EPFL
Publié
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Date de création de la notice
2010-04-08