Reactor design for large area thin film silicon deposition (Invited tutorial)


Présenté à:
23rd International Conference on Amorphous and Nanocrystalline Semiconductors, Utrecht, The Netherlands, August 23-28, 2009
Année
2009
Laboratoires:
SPC
CRPP




 Notice créée le 2010-04-08, modifiée le 2019-03-16

n/a:
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