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Détails
Titre
Reactor design for large area thin film silicon deposition (Invited tutorial)
Auteur(s)
Howling, Alan
Présenté à
23rd International Conference on Amorphous and Nanocrystalline Semiconductors, Utrecht, The Netherlands, August 23-28, 2009
Date
2009
Laboratoires
CRPP
SPC
SPC
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > SB - Faculté des sciences de base > SPC - Swiss Plasma Center > SPC - Swiss Plasma Center
Présentations & Talks
Travail hors EPFL
Publié
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Travail hors EPFL
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Date de création de la notice
2010-04-08