Dynamic array spot shaping for laser micro machining
2009
Détails
Titre
Dynamic array spot shaping for laser micro machining
Auteur(s)
Bich, A. ; Weible, K. J. ; Voelkel, R. ; Zimmermann, M. ; Harder, I. ; Lindlein, N. ; Masson, J. ; Bitterli, R. ; Noell, W. ; Scharf, T.
Publié dans
Proceedings of the SPIE
Volume
7430
Pages
74300I-74300I-11
Présenté à
Laser Beam Shaping X, San Diego, August 02-06, 2009
Date
2009
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > OPT - Laboratoire d'optique appliquée
Publications validées par des pairs
Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Publié
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Date de création de la notice
2010-02-11