Direct write laser at visible wavelength for patterning of high aspect ratio epoxy materials
2010
Files
Détails
Titre
Direct write laser at visible wavelength for patterning of high aspect ratio epoxy materials
Auteur(s)
Cadarso, Victor Javier ; Pfeiffer, K. ; Ostrizinski, U. ; Voigt, A. ; Gruetzner, G. ; Brugger, Juergen
Publié dans
EIPBN- The 54th International Confrence on Electron, Ion, Photon Beam Technology and Nanofabrication
Présenté à
EIPBN- The 54th International Confrence on Electron, Ion, Photon Beam Technology and Nanofabrication, Anchorage, Alaska, USA, June 1-4, 2010
Date
2010
Lien supplémentaire
URL
Laboratoires
LMIS1
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IEM - Institute of Electrical and Micro Engineering > LMIS1 - Laboratoire de microsystèmes 1
Publications validées par des pairs
Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Publié
Publications validées par des pairs
Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Publié
Date de création de la notice
2010-01-20