Microhotplates with TiN heaters
2008
Détails
Titre
Microhotplates with TiN heaters
Auteur(s)
Creemer, J.F. ; Briand, D. ; Zandbergen, H.W. ; van der Vlist, W. ; de Boer, C.R. ; de Rooij, N.F. ; Sarro, P.M.
Publié dans
Sensors and Actuators A
Volume
148
Pages
416-421
Date
2008
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
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Travail produit à l'EPFL
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Date de création de la notice
2009-11-09