Oxygen species in amorphous SiO2: Relative energetics and concentration of equilibrium sites
2001
Détails
Titre
Oxygen species in amorphous SiO2: Relative energetics and concentration of equilibrium sites
Auteur(s)
Bongiorno, A. ; Pasquarello, A.
Publié dans
Materials Research Society Workshop Series
Numéro
31
Présenté à
International workshop on device technology : Alternatives to SiO2 as Gate Dielectric for Future Si-Based Microelectronics, Porto Alegre, Brazil, September 3-5, 2001
Date
2001
Laboratoires
CSEA
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > SB - Faculté des sciences de base > IPHYS - Institut de physique > CSEA - Chaire de simulation à l'échelle atomique
Publications validées par des pairs
Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Publié
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Date de création de la notice
2009-10-14