Limits of 3-D nanostructures fabricated by focused electron beam (FEB) induced deposition
2002
Détails
Titre
Limits of 3-D nanostructures fabricated by focused electron beam (FEB) induced deposition
Auteur(s)
Hoffmann, Patrik ; Utke, Ivo ; Cicoira, Fabio
Publié dans
10th International Symposium on Nanostructures: Physics and Technology
Pages
5-11
Date
2002
Editeur
IOFFE Institute
Mots-clés (libres)
Note
Invited
Autres identifiant(s)
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Laboratoires
LOA
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > LOA - Laboratoire d'optique appliquée Prof. Salathé
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Travail produit à l'EPFL
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Date de création de la notice
2009-07-20