High uniformity deposition with chemical beams in high vacuum
2002
Détails
Titre
High uniformity deposition with chemical beams in high vacuum
Auteur(s)
Benvenuti, G. ; Halary-Wagner, E. ; Brioude, A. ; Hoffmann, P.
Publié dans
EMRS
Date
2002
Mots-clés (libres)
Autres identifiant(s)
DAR: 3687
Afficher la publication dans Web of Science
Afficher la publication dans Web of Science
Laboratoires
LOA
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > LOA - Laboratoire d'optique appliquée Prof. Salathé
Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Publié
Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Publié
Date de création de la notice
2009-07-20