Electron beam induced depositon of metallic tips and 3D-structures for microelectronics
2000
Détails
Titre
Electron beam induced depositon of metallic tips and 3D-structures for microelectronics
Auteur(s)
Utke, I. ; Dwir, B. ; Leifer, K. ; Hoffmann, P. ; Cicoira, F. ; Doppelt, P. ; Kapon, E.
Publié dans
18th General Conference of the Condensed Matter Division of the European Physical Society
Date
2000
Mots-clés (libres)
Laboratoires
LOA
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > LOA - Laboratoire d'optique appliquée Prof. Salathé
Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Publié
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Date de création de la notice
2009-07-20