Effect of Beam Parameters in Electron Beam Induced Deposition of Rhodium from a Carbon Free Precursor: A Systematic Study
2000
Détails
Titre
Effect of Beam Parameters in Electron Beam Induced Deposition of Rhodium from a Carbon Free Precursor: A Systematic Study
Auteur(s)
Cicoira, F. ; Utke, I. ; Hoffmann, P. ; Dwir, B. ; Leifer, K. ; Kapon, E. ; Laub, D. ; Mathieu, H. J. ; Doppelt, P.
Publié dans
AVS 47th International Symposium Processing at the Nanoscale
Date
2000
Mots-clés (libres)
Laboratoires
LOA
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > LOA - Laboratoire d'optique appliquée Prof. Salathé
Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Publié
Papiers de conférence
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Date de création de la notice
2009-07-20