Détails
Titre
Piezoelectric Films for Innovations in the Field of MEMS and Biosensors
Auteur(s)
Muralt, P.
Publié dans
Piezoelectricity: Evolution and Future of a Technology
Editeur(s)
Série
Springer Series in Materials Science, 114
Pages
351-376
Date
2008
Editeur
Berlin, Springer
Laboratoires
LC
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > LC - Laboratoire de céramique
Travail produit à l'EPFL
Chapitres de livre
Publié
Travail produit à l'EPFL
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Date de création de la notice
2009-06-25