Magnetic Nanocrystals Modified Epoxy Photoresist for fabrication of NEMS and MEMS
2008
Détails
Titre
Magnetic Nanocrystals Modified Epoxy Photoresist for fabrication of NEMS and MEMS
Auteur(s)
Martin, Cristina ; Ingrosso, Chiara ; Llobera, Andreu ; Perez-Murano, Francesc ; Sangregorio, Claudio ; Brugger, Juergen ; Striccoli, Marinella ; Agostiano, Angela ; Curri, M. Lucia
Publié dans
34th International Conference on Micro and Nano Engineering (MNE'2008)
Présenté à
34th International Conference on Micro and Nano Engineering (MNE'2008), Athens, Greece, September 15-18, 2008
Date
2008
Lien supplémentaire
URL
Laboratoires
LMIS1
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IEM - Institute of Electrical and Micro Engineering > LMIS1 - Laboratoire de microsystèmes 1
Publications validées par des pairs
Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Publié
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Travail produit à l'EPFL
Publié
Date de création de la notice
2009-06-03