Effect of Air Damping on the Dynamics of Nonuniform Deformations of Microstructures
1997
Détails
Titre
Effect of Air Damping on the Dynamics of Nonuniform Deformations of Microstructures
Auteur(s)
Yang, Y.-J. ; Grétillat, M.-A. ; Senturia, S. D.
Publié dans
Transducers'97 the 9th Internat. Conf. on Solid-State Sensors & Actuators
Volume
2
Pages
1093-1096
Date
1997
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
Travail hors EPFL
Papiers de conférence
Publié
Travail hors EPFL
Papiers de conférence
Publié
Date de création de la notice
2009-05-12