Influence of temperature on metal to glass anodic bonding
2002
Détails
Titre
Influence of temperature on metal to glass anodic bonding
Auteur(s)
Weber, P. ; Briand, D. ; de Rooij, N. F.
Publié dans
Workshop on wafer bonding
Date
2002
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
Travail hors EPFL
Papiers de conférence
Publié
Travail hors EPFL
Papiers de conférence
Publié
Date de création de la notice
2009-05-12