Analytical and FEM Modeling of Piezoresistive Silicon Accelerometers : Predictions and Limitations Compared to Experiments
1992
Détails
Titre
Analytical and FEM Modeling of Piezoresistive Silicon Accelerometers : Predictions and Limitations Compared to Experiments
Auteur(s)
Tschan, T. ; de Rooij, N. F. ; Bezinge, A.
Publié dans
Sensors and Materials
Pages
189-203
Date
1992
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
Travail hors EPFL
Papiers de conférence
Publié
Travail hors EPFL
Papiers de conférence
Publié
Date de création de la notice
2009-05-12