Simulation, conception et caractérisation des accéléromètres piézorésistifs de silicium fabriqué dans une technologie compatible avec un procédé bipolaire industriel.
1992
Détails
Titre
Simulation, conception et caractérisation des accéléromètres piézorésistifs de silicium fabriqué dans une technologie compatible avec un procédé bipolaire industriel.
Auteur(s)
TSCHAN, Thomas
Directeur(s)
Date
1992
Editeur
Université de Neuchâtel
Note
Jury: A. Shah (IMT-UniNE), H. Seidel (Münich), J. Knutti (Fremont, USA).
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
Travail hors EPFL
Thèses
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Date de création de la notice
2009-05-12