Simulation, conception et caractérisation des accéléromètres piézorésistifs de silicium fabriqué dans une technologie compatible avec un procédé bipolaire industriel.
1992
Details
Title
Simulation, conception et caractérisation des accéléromètres piézorésistifs de silicium fabriqué dans une technologie compatible avec un procédé bipolaire industriel.
Author(s)
TSCHAN, Thomas
Advisor(s)
Date
1992
Publisher
Université de Neuchâtel
Note
Jury: A. Shah (IMT-UniNE), H. Seidel (Münich), J. Knutti (Fremont, USA).
Laboratories
SAMLAB
Record Appears in
Scientific production and competences > STI - School of Engineering > STI Archives > SAMLAB - Sensors, Actuators and Microsystems Laboratory
Work outside EPFL
Theses
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Record creation date
2009-05-12