Optical MEMs based on Silicon-on-Insulator (SOI) for Monlithic Optical Microoptics
2002
Détails
Titre
Optical MEMs based on Silicon-on-Insulator (SOI) for Monlithic Optical Microoptics
Auteur(s)
Sun, W. ; Noell, W. ; de Rooij, N. F. ; Herzig, H. P. ; Manzardo, O. ; Dändliker, R.
Publié dans
LEOS Annual Meeting 2002
Date
2002
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
Travail hors EPFL
Papiers de conférence
Publié
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Date de création de la notice
2009-05-12