Détails
Titre
Design for Reliability of Drift-Dree MEMS Micromirrors
Auteur(s)
Shea, H. R.
Publié dans
Optical MEMS 2004
Volume
1
Pages
168-169
Date
2004
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
Travail hors EPFL
Papiers de conférence
Publié
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Date de création de la notice
2009-05-12