Applications of Micromachined Sensors Integrated Micro-Motion Systems : Micromachining
1990
Détails
Titre
Applications of Micromachined Sensors Integrated Micro-Motion Systems : Micromachining
Auteur(s)
de Rooij, N. F.
Publié dans
Control and Applications
Pages
433-462
Date
1990
Note
43
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
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Date de création de la notice
2009-05-12