Laterally Moving Bi-Stable MEMS DC-Switch for Biomedical Applications
2004
Détails
Titre
Laterally Moving Bi-Stable MEMS DC-Switch for Biomedical Applications
Auteur(s)
Receveur, R. A. M. ; Marxer, C. ; Duport, F. ; Woering, R. ; Larik, V. ; de Rooij, N. F.
Publié dans
MEMS 2004
Volume
1
Pages
854-860
Date
2004
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
Travail hors EPFL
Papiers de conférence
Publié
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Date de création de la notice
2009-05-12