Porous Silicon Sacrificial Layer Technique for the Fabrication of Free Standing Membrane Resonators and Cantilever Arrays


Publié dans:
Eurosensors XI 11th European Conf. On Solid-State Transducers, 1, 285-288
Année
1997
Laboratoires:




 Notice créée le 2009-05-12, modifiée le 2018-09-13


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