Porous Silicon Sacrificial Layer Technique for the Fabrication of Free Standing Membrane Resonators and Cantilever Arrays
1997
Détails
Titre
Porous Silicon Sacrificial Layer Technique for the Fabrication of Free Standing Membrane Resonators and Cantilever Arrays
Auteur(s)
Racine, G.-A. ; Genolet, G. ; Clerc, P.-A. ; Despont, M. ; Vettiger, P. ; de Rooij, N. F.
Publié dans
Eurosensors XI 11th European Conf. On Solid-State Transducers
Volume
1
Pages
285-288
Date
1997
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
Travail hors EPFL
Papiers de conférence
Publié
Travail hors EPFL
Papiers de conférence
Publié
Date de création de la notice
2009-05-12