Détails
Titre
Microfabricated probes with integrated functionality for SPM.
Auteur(s)
INTERMÜHLE, Pierre-François
Directeur(s)
Date
1998
Editeur
Université de Neuchâtel
Note
Jury: H.P. Herzig (IMT-UniNE), U. Staufer (IMT-UniNE), H.F. Siegenthaler (UniBE), P. Vettiger (IBM ZH).
Laboratoires
SAMLAB
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Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
Travail hors EPFL
Thèses
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Date de création de la notice
2009-05-12