Polysilicon Surface Micromachinig for the Fabrication of Thermally Isolated Micro-Igniters
2003
Détails
Titre
Polysilicon Surface Micromachinig for the Fabrication of Thermally Isolated Micro-Igniters
Auteur(s)
Pham, P. Q. ; Briand, D. ; de Rooij, N. F.
Publié dans
Eurosensors XVII
Pages
408-409
Date
2003
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
Travail hors EPFL
Papiers de conférence
Publié
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Date de création de la notice
2009-05-12