Post assembly alignment system
2005
Détails
Titre
Post assembly alignment system
Auteur(s)
Pétremand, Y. ; Noell, W. ; Epitaux, M. ; Verdiell, J. M. ; de Rooij, N. F.
Publié dans
10th International Commercialization of Micro and Nano Systems Conference (COMS 2005)
Pages
477-481
Date
2005
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
Travail hors EPFL
Papiers de conférence
Publié
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Date de création de la notice
2009-05-12