Electrodeposited Electrostatic Rigid-Rotor Wobble Motors on Silicon
1994
Détails
Titre
Electrodeposited Electrostatic Rigid-Rotor Wobble Motors on Silicon
Auteur(s)
Paratte, L. ; de Rooij, N. F.
Publié dans
Sensors and Actuators A
Volume
43
Pages
371-377
Date
1994
Note
109
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
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Date de création de la notice
2009-05-12