Replication of optical MEMS structures in sol-gel materials
2004
Détails
Titre
Replication of optical MEMS structures in sol-gel materials
Auteur(s)
Obi, S. ; Gale, M. T. ; Kuoni, A. ; de Rooij, N. F.
Publié dans
Microelectronic Engineering
Volume
73-74
Pages
157-160
Date
2004
Note
324
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
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Date de création de la notice
2009-05-12