Mounting of micromachined diamond tips and cantilevers
1999
Détails
Titre
Mounting of micromachined diamond tips and cantilevers
Auteur(s)
Niedermann, Ph. ; Hänni, W. ; Thurre, S. ; Gjoni, M. ; Perret, A. ; Skinner, N. ; Indermühle, P.-F. ; Staufer, U. ; de Rooij, N. F.
Publié dans
Surfaces and Interface Analysis
Volume
27
Pages
296-298
Date
1999
Note
202
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
Publications validées par des pairs
Travail hors EPFL
Articles de journaux
Publié
Publications validées par des pairs
Travail hors EPFL
Articles de journaux
Publié
Date de création de la notice
2009-05-12