Engineering of thin film crystallinity for wear resistant coatings using a combination of PECVD and PVD plasma technology
2007
Détails
Titre
Engineering of thin film crystallinity for wear resistant coatings using a combination of PECVD and PVD plasma technology
Auteur(s)
Neels, A. ; Dommann, A. ; Ibzazene, A. ; Suter, M. ; Döbeli, M. ; Ante, M. ; Ramm, J.
Publié dans
CTI Day
Date
2007
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
Travail hors EPFL
Papiers de conférence
Publié
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Date de création de la notice
2009-05-12