Micro-opto-mechanical 2x2 switch for single mode fibers based on plasma-etched silicon mirror and electrostatic actuation
1998
Détails
Titre
Micro-opto-mechanical 2x2 switch for single mode fibers based on plasma-etched silicon mirror and electrostatic actuation
Auteur(s)
Marxer, C. ; Thio, C. ; de Rooij, N. F. ; Anthamatten, O. ; Bättig, R. ; Valk, B. ; Vogel, P.
Publié dans
IEEE/LEOS Internat. Conf. on Optical MEMS and their Applications
Pages
233-237
Date
1998
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
Travail hors EPFL
Papiers de conférence
Publié
Travail hors EPFL
Papiers de conférence
Publié
Date de création de la notice
2009-05-12