Vertical Mirrors Fabricated by Deep Reactive Ion Etching for Fiber-Optic Switching Applications
1997
Détails
Titre
Vertical Mirrors Fabricated by Deep Reactive Ion Etching for Fiber-Optic Switching Applications
Auteur(s)
Marxer, C. ; Thio, Ch. ; Grétillat, M.-A. ; de Rooij, N. F. ; Anthamatten, O. ; Bättig, R. ; Valk, B. ; Vogel, P.
Publié dans
IEEE Journal of Microelectromechanical Systems
Volume
6
Numéro
3
Pages
277-285
Date
1997
Note
169
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
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Date de création de la notice
2009-05-12