Vertical Mirrors Fabricated by Reactive Ion Etching for Fiber Optical Switching Applications
1997
Détails
Titre
Vertical Mirrors Fabricated by Reactive Ion Etching for Fiber Optical Switching Applications
Auteur(s)
Marxer, C. ; Thio, C. ; Grétillat, M.-A. ; Anthamatten, O. ; Baettig, R. ; Valk, B. ; Vogel, P. ; de Rooij, N. F.
Publié dans
IEEE 10th Annual Internat. Workshop on Micro Electro Mechanical Systems - MEMS '97
Pages
49-56
Date
1997
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
Travail hors EPFL
Papiers de conférence
Publié
Travail hors EPFL
Papiers de conférence
Publié
Date de création de la notice
2009-05-12